磁控濺射鍍膜是現(xiàn)代工(gōng)業中不可缺少的技術之一,磁控濺射鍍膜技術正廣泛應用於透明導電膜、光學膜、超硬膜、
抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種裝飾(shì)膜,在國防和(hé)國民經濟生產中的作用和(hé)地位日益強(qiáng)大。
磁(cí)控濺射技術發展過程中各項技術(shù)的突破一般集(jí)中(zhōng)在等離子體的產生以及對等離子體進行的控製等方(fāng)麵。
通過對電磁場、溫度場和空間不同種類粒子分(fèn)布參數的控製,使膜層質量和屬性滿足各行業的要求。
膜厚均勻性與磁(cí)控濺射靶的工作狀(zhuàng)態息息相關,如靶的刻蝕狀態,靶的電磁場(chǎng)設計(jì)等,
因此,為(wéi)保證膜厚(hòu)均勻性,國外(wài)的(de)薄膜製備公司或鍍膜(mó)設備製造公司都有(yǒu)各(gè)自(zì)的關於鍍(dù)膜設備(包(bāo)括核心部件“靶”)的整套設計方(fāng)案。