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磁控(kòng)濺射(shè)膜厚均勻性設計方法

作者: 來源: 日期:2020-11-09 10:56:38 人氣:18131

磁控濺射鍍膜是現(xiàn)代工(gōng)業中不可缺少的技術之一,磁控濺射鍍膜技術正廣泛應用於透明導電膜、光學膜、超硬膜、

抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種裝飾(shì)膜,在國防和(hé)國民經濟生產中的作用和(hé)地位日益強(qiáng)大。


鍍膜工藝中的薄膜厚度均勻(yún)性,沉積速率,靶材利用率等方麵的問(wèn)題是實際生產中十分關注的。
解決這些實(shí)際問題的方法是對涉及濺射沉積過程(chéng)的全部因素進行整體的優化設計(jì),建立一個濺射鍍膜的綜合設計係統(tǒng)。
薄膜厚度均勻性是檢驗濺射沉積過程的最重要參數之一,因此對膜厚均勻性綜合設計的研(yán)究具有重要的理論和應用價值。

磁(cí)控濺射技術發展過程中各項技術(shù)的突破一般集(jí)中(zhōng)在等離子體的產生以及對等離子體進行的控製等方(fāng)麵。

通過對電磁場、溫度場和空間不同種類粒子分(fèn)布參數的控製,使膜層質量和屬性滿足各行業的要求。


膜厚均勻性與磁(cí)控濺射靶的工作狀(zhuàng)態息息相關,如靶的刻蝕狀態,靶的電磁場(chǎng)設計(jì)等,

因此,為(wéi)保證膜厚(hòu)均勻性,國外(wài)的(de)薄膜製備公司或鍍膜(mó)設備製造公司都有(yǒu)各(gè)自(zì)的關於鍍(dù)膜設備(包(bāo)括核心部件“靶”)的整套設計方(fāng)案。

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