油擴（kuò）散泵的應用壓強範圍是10-1帕-10-7帕，它是（shì）利用氣體的擴散現（xiàn）象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大（最高可以達到10+5升/秒）等特點。油擴（kuò）散泵（bèng）主（zhǔ）要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器組成，裏麵（miàn）主要添加擴散泵油（日本（běn）的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可以分為單級泵（bèng）和多級泵。 

        擴散泵底部內儲（chǔ）存有擴散泵油，上部為進氣口（kǒu），右側旁（páng）下部為出氣口（kǒu），在工作時出氣口由機械泵提供（gòng）前置壓強，機械泵充當前置泵。 

        當擴散泵的（de）油（yóu）被電爐加熱時，產生的油蒸汽提供前（qián）置壓強，機械泵充當前置（zhì）泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導流管經傘形噴（pēn）嘴向下（xià）噴出。因噴嘴外麵有機（jī）械泵提供的1-10-1帕的真空，故油（yóu）蒸汽可噴（pēn）出（chū）一段距離，構成一個（gè）向出氣口方向運動的射流。射流最後碰上由冷卻（què）水冷卻（què）的泵壁，凝結為液體，流回蒸發器，即靠油的蒸發——噴射——凝結，重複循環來實現抽氣的。 

         由進氣口（kǒu）進入泵（bèng）內的氣體分子，一旦落入蒸汽流中（zhōng），便獲（huò）得向下運動的動（dòng）量，向下飛去，由於射流具（jù）有高的流速（約200米/秒（miǎo）），高的蒸汽（qì）密度，且（qiě）擴散泵油具有高的分（fèn）子量（300-500）故能（néng）有效的帶走氣體分子，因此在射流的界麵（miàn）內，氣體分子不可能長期滯留，且在射流界（jiè）麵的兩邊，被抽氣（qì）體有很大的濃度差，正（zhèng）是因為這個濃度差被抽氣體能不斷的越過界麵，擴散進入射流中，被帶往（wǎng）出口處，在（zài）出口處再由機械泵抽走。 

         擴散（sàn）泵的（de）油蒸汽壓是決定泵的極限真空（kōng）的重要因素，因此盡量（liàng）選用飽和（hé）蒸汽壓低的泵油，其化學（xué）特（tè）性要好（hǎo）。 

         擴散（sàn）泵不（bú）能單獨用來抽氣，一般要求泵的最大出口壓強為40帕。擴散（sàn）泵的抽速決定於第（dì）一級噴嘴與泵（bèng）體進氣口口徑間環形麵積的大小，抽速不是一恒定的值，而（ér）是隨著進氣口（kǒu）的壓強而變化的，當壓強在10-2～10-3帕的（de）時候，擴散泵（bèng）的抽氣速度是最快的，當壓強小於（yú）5*10-4帕之後，擴散泵的抽（chōu）氣（qì）速度最小，幾乎沒有抽氣能力（此（cǐ）時，進氣口的壓強較高，由於空氣的密度較（jiào）大，使蒸汽（qì）流形成（chéng）不了高速射流以阻擋空氣的反擴散，所以抽速下降）。 

        擴（kuò）散泵在安裝前（qián）要清洗，之（zhī）後才可以裝入擴散油，油在加熱前（qián），必須要先對泵抽真空，停機（jī）前要先（xiān）將擴散（sàn）泵油冷卻到60～70攝氏度，才可以關閉前級抽氣，最後關（guān）冷卻水。 

       由於油擴散泵是無（wú）法杜絕有返油的幾率，那麽沒有（yǒu）辦法保證精密產品的100％純淨，特別是半導體行（háng）業，所以就有“高真空冷凝泵（bèng）＋低真空機械（xiè）泵”所組成的無油真空係統，冷凝泵組成的排氣係統不僅排氣效率極高，而（ér）且有效保證真空腔的清（qīng）潔，保證產品的質量（避免產品被汙染、增強膜層與基板（bǎn）之間的附著力），但是其維（wéi）護成本非常的高，造價昂貴，所以普及率沒有油擴散泵廣泛（fàn）。 

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