電阻真空計(又叫皮喇尼真(zhēn)空計):
它主要由電熱絲、外殼和支架構成,主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導係數與壓強成(chéng)正比的(de)方式工作的。上麵(miàn)開口處與被測真空係(xì)統相(xiàng)連接(jiē),熱絲采用電阻溫度係數大的金屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連(lián)接。當壓強降低的時候,由於氣體熱傳導散失的熱量減小,因此當熱絲加熱電(diàn)流穩定時(shí)候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測(cè)量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強。
磁控放電真空計: 工作原理:在放電開始時,由於空間遊離電子向陽極運動時,在正交電磁場(chǎng)作用下,電子的軌跡不是(shì)直線而是螺旋(xuán)線前進,又因為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽極,而是穿過陽極(jí),然後受(shòu)到對麵(miàn)陰極的拒斥,又複返回。這樣反複多次才可能打(dǎ)上陽極。由(yóu)於電子路程大大加長,故碰撞及電離的分子數增加,使得在較低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。
目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY
放電管真空計:
在玻璃管中封入兩(liǎng)個金屬電極,在其(qí)上加上數千伏的直流高電壓,在一定的壓強範圍內(1*10-3~2*10托)內就能(néng)引起自持放電,通過放電顏色來判定其真空度(dù) 。 目前為止此種真空計已(yǐ)經很少使用,因為其誤差大,容易損壞,而且壽命不長。
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