磁（cí）控濺射膜常見故障的排除

膜層灰暗及發黑

(1)真空度低於 0.67Pa。應將真空度提高到 0.13-0.4Pa。

(2)氬氣純度低於 99．9％。應換用純度為（wéi） 99．99％的氬氣。

(3)充氣（qì）係（xì）統（tǒng）漏氣。應檢查充氣係統，排（pái）除漏氣（qì）現象。

(4)底漆（qī）未（wèi）充（chōng）分固化。應適當延長底漆的固化（huà）時間。

(5)鍍件放氣量太大。應進（jìn）行幹燥和封孔處理（lǐ） 膜（mó）層（céng）表麵光澤（zé）暗淡

(1)底漆固化不良或變質。應適當延長（zhǎng）底漆的（de）固（gù）化時間或更換底漆。

(2)濺（jiàn）射時間太長。應適當縮短。

(3)濺（jiàn）射成膜速度太快。應適（shì）當降低濺射電流或電壓

膜層色澤不均

(1)底漆噴塗得不（bú）均勻。應改進（jìn）底漆的（de）施（shī）塗方法（fǎ）。

(2)膜層太薄（báo）。應適當提高濺射速度或（huò）延長濺射時間。

(3)夾具設計（jì）不合理。應改進夾具（jù）設計。

(4)鍍件的幾何形狀太複雜（zá）。應適當提高鍍件的旋轉速度

膜層發皺、龜裂

(1)底漆噴塗得太厚。應控製在 7—lOtan 厚度範圍內。

(2)塗料的粘度太（tài）高（gāo）。應適當降低。

(3)蒸發速度太快。應適當（dāng）減慢。

(4)膜（mó）層太厚。應適當縮短濺射時間。

(5)鍍件溫度太高。應適當縮短（duǎn）對鍍件的加溫時間

膜層表麵有水跡、指紋及灰粒

(1)鍍（dù）件清（qīng）洗後未充分幹燥。應（yīng）加強鍍前處理。

(2)鍍件表麵（miàn）濺上水（shuǐ）珠或唾液。應加強文明生（shēng）產（chǎn），操作者應帶口罩。

(3)塗底（dǐ）漆後手接觸過鍍件（jiàn），表麵（miàn）留（liú）下指紋。應嚴禁用手（shǒu）接（jiē）觸鍍（dù）件表麵。

(4)塗料（liào）中有顆粒物。應過濾塗料或更換塗料。

(5)靜電除塵失（shī）效或噴塗和（hé）固化環境中有顆粒灰塵。應更換除塵器，並保持工作環境的清潔

膜層（céng）附著力不良

(1)鍍件除（chú）油（yóu）脫脂不徹底。應加強鍍前（qián）處理。

(2)真空室（shì）內（nèi）不（bú）清潔。應清洗真空室（shì）。值得注意的（de）是，在裝靶和拆靶的（de）過程中，嚴禁用手 或不幹淨的物體與磁控源接觸，以保證磁控源具有較高的清潔度（dù），這（zhè）是提高膜層結合力的（de） 要措施之一。

(3)夾具不清潔。應清洗夾具。

(4)底塗料選用不當。應更換塗料。

(5)濺（jiàn）射工藝（yì）條件控製不當。應改進（jìn）濺射工藝條件