真空鍍膜機主要指一類需要在（zài）較高真空度下（xià）進行的鍍膜，具體包（bāo）括很多種類，包括真空離子（zǐ）蒸發，磁（cí）控濺（jiàn）射，MBE分子（zǐ）束外延，PLD激光濺射沉積等很多（duō）種。主要思路是分成蒸（zhēng）發（fā）和濺射兩種。真空鍍膜機是目前製作真空條件應（yīng）用最為廣泛的設備，對其操作程序的了解是（shì）至關重要的環節，在真空鍍膜機的具體操作過程中建議參（cān）照以下標注說（shuō）明：

        一、 檢查真空鍍膜（mó）機各操作控製（zhì）開（kāi）關是否在"關"位置。

        二、打開總電（diàn）源開關，設備送電。

        三、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流（liú）聲後，啟動升鍾罩（zhào）閥，鍾（zhōng）罩升起。

        四、安（ān）裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板（bǎn）固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿（chuān）放在螺旋加熱子內。清理鍾罩內各部位，保證無任何雜質汙物。

        五、落下鍾罩。

        六（liù）、啟動抽真空機械泵。

        七、開複合真空（kōng）計電源(複合真空計型號（hào）:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區段（duàn）的加（jiā）熱位置。

               2）低真空表"2"內指針順時針移（yí）動，當指針移動至（zhì）110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指（zhǐ）向2區段測（cè）量位置。

        八、當低真空表"2"內指針再次（cì）順時針移動至6.7Pa時，低壓（yā）閥（fá）推入。這時左旋鈕"1"旋轉至指向（xiàng）1區段測量位置。

        九、 真空鍍膜（mó）機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出。重複一次⑦動（dòng）作程序:左下旋鈕"1"轉至指向2區段測量位置。低真（zhēn）空表"2"內（nèi）指針順（shùn）時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥杆順時針旋轉)。

        十（shí）一、等低真空表（biǎo）"2"內指針右移動至0.1Pa時，開規管燈絲開關。

                1）發射、零（líng）點（diǎn）測量（liàng）鈕"9"旋轉至指（zhǐ）向發射位置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉至（zhì）指向1區段測量位置。

        十二、 旋轉發射調節（jiē）鈕"4"，使高壓真空表"5"內指針指（zhǐ）向5。

        十三、 發射、零（líng）點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

        十（shí）四、旋轉零點調節鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向0位置。

        十五、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至（zhì）指向測量位置。

        十六、旋（xuán）轉標準調節鈕"3"，讓高壓（yā）真空表"5"內指針指（zhǐ）向10。

        十七、旋轉"倍加器"開關鈕"8"至（zhì）指向10-12，當高（gāo）壓（yā）真空表"5"內指針逆時針左移超過1時，再把"倍（bèi）加器"開關旋鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內指針逆時針移（yí）動超過6.7Pa時，開工件旋轉（zhuǎn）鈕開關，鍾罩內被鍍件PVDF膜轉動。

        十九（jiǔ）、開蒸發鈕開關。把電（diàn）流分插塞插入蒸發電極分配孔內(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二（èr）十、 右手旋轉右側調壓（yā）器手輪，慢慢（màn）旋轉升壓（yā）。

                  1）從視鏡（jìng）窗口觀察鎢螺旋（xuán）加熱（rè）子的加熱溫度顏色變（biàn）化情況。

                  2）當鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移（yí）開（kāi）鎢螺旋上方擋板。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋板回（huí）原位。

                  4）右手旋轉調壓器手輪回零位。第一（yī）次蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果再想蒸鍍一（yī）次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重複⑳操作動作。

        二十二、 關閉規（guī）管燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針轉（zhuǎn）手柄)。關閉工件旋轉。關（guān）閉蒸發。旋轉機械泵鈕至指向擴散泵位置。

        二（èr）十三、 低壓閥拉出。鍾罩充氣。充（chōng）氣一段時間，當沒有氣.聲時，升鍾罩（zhào）。

        二十四、鎢（wū）螺旋加（jiā）熱子內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一（yī）麵向下 (原（yuán）下麵已鍍（dù）一（yī）層鋁膜麵向上)。緊固在轉動圓盤（pán）上。

        二十五、 落鍾罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置 。

                    2）當低壓真空表（biǎo）"2"內指針順時針移動（dòng）到（dào）6.7Pa時，低壓（yā）閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋（xuán）轉至指向1區段測量位置。

                    4）當低壓真空表"2"內指針順（shùn）時針（zhēn）移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

                    5）當低壓真空表（biǎo）"2"內指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規管燈絲。

                    6）由⑰開始重複（fù）操作至⑳ 。

        二十六、 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷（duàn）高真（zhēn）空測（cè）量，關閉規管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出（chū）。來電後，先讓機械泵啟動工作3~5min後，再轉入正常生產。