真(zhēn)空鍍膜機的原(yuán)理和各部件分析
作者: 來源(yuán): 日期:2022-08-17 15:00:52 人氣(qì):855
真空鍍膜機的原理和各部件分析
真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最(zuì)為廣泛的真空設備,一般用真空室、真空機組、電氣控製(zhì)櫃(guì)三大部分組成,排(pái)氣係統采(cǎi)用“擴散(sàn)泵+機械泵+羅(luó)茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公司專(zhuān)業從事真空(kōng)鍍膜設備(bèi)的(de)研發與生產擁有經驗豐富的技術團隊及優質的(de)售後服務隊(duì)伍為您(nín)解決設備在使用過程中(zhōng)遇到的任何問題。下麵,詳細介紹(shào)真空鍍膜機的(de)各部分(fèn)組成及其工(gōng)作原理。
一、真空主體——真空腔根據加工產品(pǐn)要求的各異,真空腔的大(dà)小也不一樣(yàng),目前(qián)應用多的有(yǒu)直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體(tǐ)由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實(shí)等(děng),真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣係統 :排氣係統為(wéi)鍍膜機真空係統的重要部分,主要有由機械泵(bèng)、增壓泵(主要介紹羅茨(cí)泵(bèng))、油擴散泵三大(dà)部分組成。此排氣係統采用“擴散泵+機械(xiè)泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將(jiāng)真(zhēn)空腔抽至小於2.0*10-2PA左右(yòu)的低真空狀態,為擴散泵後繼抽真(zhēn)空提供前提,之後當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合(hé)油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完(wán)成抽氣動作。
機械泵:也叫前(qián)級泵,機械泵是應用廣泛的(de)一種低真空泵,它是用油來保持密封效果並依靠機(jī)械的方法不斷的改變(biàn)泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣(qì)體的體積不(bú)斷膨脹從而獲(huò)得真(zhēn)空。
1.機械(xiè)泵的分類:機械泵有很多(duō)種,常用的(de)有滑閥式(此主要應用於大型設備(bèi))、活塞(sāi)往(wǎng)複式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用最廣泛,本文主要介(jiè)紹)四種類型。
2.機(jī)械泵(bèng)是從大氣開始工作的,它的主要參數有極限真空,抽氣速率,此為設計與(yǔ)選用機械泵的重要(yào)依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉數運(yùn)轉時,單位時間內所能排出氣體的體(tǐ)積,可(kě)以用下公式(shì)計(jì)算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截麵積,L表示(shì)空腔長度,係數表示轉子(zǐ)每旋轉一周(zhōu)有(yǒu)兩次排氣過程,Vs表示當轉子處於水(shuǐ)平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的體積大,轉速為n。機械泵排氣的效(xiào)果還與電機的轉速及皮帶的(de)鬆緊度有關係,當電機的皮帶(dài)比(bǐ)較鬆,電機轉速很慢的(de)時候,機械泵的排氣效(xiào)果也會變差,所以(yǐ)要經常保養,點檢(jiǎn),機(jī)械泵(bèng)油的密封效果也需要常常點(diǎn)檢,油過(guò)少,達不到密封效果,泵內會漏(lòu)氣,油(yóu)過多(duō),把吸(xī)氣孔堵塞(sāi),無法吸氣和排氣,一般(bān),在油位在線下0.5厘米(mǐ)即可(kě)。
3.機(jī)械(xiè)泵常常被用來抽除幹燥的空氣,但不能抽除含氧(yǎng)量過高、有爆炸性和腐(fǔ)蝕性的氣體,機械泵一般被(bèi)用來(lái)抽除永久性的(de)氣(qì)體,但是對水氣沒有(yǒu)好的效果,所以它不能抽除水氣。旋片泵中(zhōng)起主要作(zuò)用的部件(jiàn)是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但與定子不同心軸,象兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈簧(huáng),保證了彈片緊緊貼在定子的(de)內壁。