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真空蒸鍍(dù)、濺鍍、離(lí)子鍍

作者: 來源: 日期:2020-12-25 13:17:41 人氣:2069

真空蒸鍍、濺鍍(dù)、離(lí)子鍍 

真空鍍主要包括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾種(zhǒng)類型,它們都是采用(yòng)在真空條件下,通過蒸餾或濺射等方式在塑件表麵沉積各種金屬和非金屬(shǔ)薄膜,通過這樣(yàng)的(de)方式可以得到非常薄的表麵鍍層,同時具有速度快附(fù)著力好的突出(chū)優點,但是(shì)價格也較高,可以進行操作的金屬類型較少,一般用來作較高檔產品的功能性鍍層


真空蒸鍍法是在高真空下為金屬加熱,使其熔融、蒸發,冷卻後(hòu)在樣品表麵形成金屬薄膜的方法,鍍層厚度為(wéi)0.8-1.2um。將成形品表麵的微小凹凸部(bù)分填平,以獲得如鏡麵一(yī)樣的表麵,無任是為了得到反射鏡作用而實施真空蒸鍍,還是對密接(jiē)性較低的(de)奪鋼進行真空蒸鍍時(shí),都必須進行底麵塗(tú)布處理。


濺鍍通常指的是磁控濺鍍,屬於高速低溫(wēn)濺鍍法。該工(gōng)藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空(kōng)狀態充入惰性氣體氬氣(Ar),並在塑膠基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電,由於輝光放電(glow discharge)產生的電子激(jī)發惰(duò)性氣體,產生等離子體(tǐ),等離(lí)子體將金屬靶材(cái)的原子轟出,沉積在塑膠基材上(shàng)。一般金屬鍍(dù)膜大都(dōu)采用(yòng)直流濺鍍,而不導電的陶磁材(cái)料則使用RF交流濺鍍。


離子(zǐ)鍍是在真空條件下,利用氣體放電(diàn)使氣體或被蒸發物質部分電離(lí),並在氣體離子或被蒸發物質離子的轟擊下,將蒸發物質或其反應物沉積在(zài)基片上(shàng)的方法。其中包括磁控濺射離子鍍、反應離(lí)子鍍、空心(xīn)陰極放電離子鍍(空心陰極蒸鍍法)、多弧離子鍍(陰極電弧離子鍍)等

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