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鍍膜工藝設計

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣:10254

鍍膜工藝之設計應著(zhe)重考慮不同薄膜材料之間需要不同的沉積工藝(yì),

不同濺射技術的實(shí)施(直流、中頻、射頻、脈衝、反應濺射(shè),以及它們之間的結合而發展的技術,或者新技術的應用等),

同種技術不同工藝參數的調整(zhěng)(功(gōng)率,氣壓,沉積方式等),前處理(清(qīng)洗、預熱等),後處理(lǐ)(熱處理(lǐ)等)。

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