質量流量計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量（liàng）氣體流量的（de）儀表，

其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控製器，即Mass flow controller(縮寫為MFC），不但具有質量流量計的功（gōng）能，

更重要的是（shì），它能自動控製氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設（shè）定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，

即（jí）使係統壓力有波動或環境溫度有變化，也不（bú）會使其偏（piān）離設定值。

簡單地說，質量流量控製器就是一個穩定裝置，是一個可以手動（dòng）設定或與計（jì）算機聯（lián）接自動控製的氣體（tǐ）穩流裝置（zhì）。