低真空（kōng）的獲得  

獲得低真空常采用機（jī）械泵（bèng），機械（xiè）泵是運用機械方（fāng）法不斷地改變（biàn）泵內（nèi）吸氣空腔的體積，使被抽容器內（nèi）氣體的體積不斷膨脹，從而獲得真空（kōng）的裝置。

它可以直接在大氣壓下開始工作，極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速及空腔體積V的大小（xiǎo）有關，一般在（zài）每秒幾升到每（měi）秒幾（jǐ）十（shí）升（shēng）之間。

高真空的（de）獲得 

目前，廣泛使用的獲得高真空的泵就是擴散泵。擴散泵是利用氣體擴散現象來抽氣（qì）的，它不能直接在大氣壓下工作，而需要一定（dìng）的預備真空度（dù）（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵的極限真空度主要取決（jué）於油蒸汽壓（yā）和氣體分（fèn）子的反擴散，一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構相關，每秒（miǎo）幾升--幾百升不等。