微信掃一掃 關（guān）注国产日韩高清一区二区三区最（zuì）新動態！1. 電阻蒸發源蒸鍍發
A. 加熱：高熔點金屬做成適當形狀蒸發源，電流通（tōng）過直接加熱。
B. 優點：結（jié）構簡單、造價便宜、使用可靠
C. 缺點：所能到（dào）到的最高溫（wēn）度有限，加熱器壽命較短
D. 適合（hé）：熔（róng）點（diǎn）不太高，尤其對膜層質量要求不大高的大批量生產。
2. 電子束蒸發（fā）源蒸鍍發
A. 蒸發材（cái）料放入冷水鉗（qián）鍋中，利用電（diàn）子束加熱
B. 優點：獲得更大能量密度，使高熔點材料蒸發且速度快，膜的純度較高（gāo），熱效率（lǜ）高。
C. 分類：環形槍（qiāng），直槍，e型槍和空心陰極槍等（děng）幾種。
D. 適合：高熔點，純度要求高的材料。