微信掃一掃 關注国产日韩高清一区二区三区（yuán）最新（xīn）動態！等離子（plasma）是除固體、液體、氣體之外的第四種物質（zhì）狀態，主要是由氣體在高電磁場作用下發生解離，形成一種包括電子（帶負電），正離子（帶正電），自由基和中性氣體（tǐ）分子組（zǔ）成的高活性物（wù）質，通產情況下（xià）會發光。
一般情況（kuàng）下，等離子中的正電荷數等於負電荷數，所以整體呈電中性（Quasi-neutral）。日常（cháng）生活中見到的閃電、日光燈、霓虹燈就是等離子體發光（guāng）現象。
等（děng）離子的產生有很多種方法，但生（shēng）成和維持都需要外部能（néng）量的輸入。
電子從外加電磁場獲得能量，然後發生非彈性碰撞產生激發（excitation）、解離吸附（fù）（dissociative attachment）、解（jiě）離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生二次電（diàn）子（zǐ）、原子、分子、離子等（děng）物質（zhì），然而在（zài）解離碰撞中，電子可能與（yǔ）氣體離子（zǐ）有再結合作用，或者因為漂移及擴散而（ér）離開電磁場範圍等原因消失，因此當電子產生與消失的速率相等（děng）時，此時的plasma即為穩定狀態。這（zhè）裏（lǐ）列舉四種ETCH常用產生plasma的方法，後麵會詳解介紹。
三、等離子體的參數（shù） plasma parameters
平均自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒子碰撞前能夠移動的平均距離（lí）。MFP與環境壓力P呈反比，壓力（lì）越高（gāo），MFP越短，壓力約低，MFP越長，這就是為什麽plasma產生要（yào）在低壓近（jìn）似真空（kōng）環境下產生，因為在大氣壓力下（760Torr），電子的MFP很短，很難獲得足夠的能力來使用氣體（tǐ）離子化。