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膜厚的量(liàng)測方法有哪些

作者: 來源: 日期:2020-07-28 13:56:26 人氣:8890

膜厚的量測方法大(dà)致上可分為(wéi)原位量測、離位量測兩類 

原位星測係指鍍膜進行中量測,普遍使用在物理氣相(xiàng)沉積,如微天平、光學、電阻量測。

離位量測係指鍍膜完成後量測,對電(diàn)鍍膜的行使較為普遍,具有了解電鍍效率的目的,如質量、剖(pōu)麵計、掃描式電子顯(xiǎn)微鏡。

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