真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電（diàn）氣控製櫃三大工作原（yuán）理。

真（zhēn）空（kōng）主題--真空腔根據（jù）加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應（yīng）用最多（duō）的有直徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔（qiāng）體由不鏽鋼材料製作，要求不生鏽、堅實等，真空（kōng）腔各（gè）部分有鏈接閥，用來鏈接各抽氣（qì）泵浦。

輔（fǔ）助抽氣係統：排氣係統為鍍膜（mó）機（jī）真空係統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成，此排氣係統采用“擴散泵+機械（xiè）泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。

排（pái）氣流程為（wéi）：機械泵先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴（kuò）散泵後續抽真空提供前提，之後當擴散泵抽真空的時候，機械（xiè）泵又配合油擴散泵（bèng）組成串聯，已這樣的（de）方式完成抽氣動作。

 機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用最廣泛的一種（zhǒng）低（dī）真空泵（bèng），它是用油來保持密封效（xiào）果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積（jī），使（shǐ）被抽容器內氣體的體積不斷膨脹（zhàng）從而獲得真空。