為盡量減小
真空鍍膜機真空室形變帶來的影響,我們將導軌、絲杆等傳動件固定於一(yī)個剛性的中間層上,其與真空室底壁之間采用點、線、麵(miàn)活性支撐,以吸收和隔離形變,並設置形變補(bǔ)償調節機構,在係統(tǒng)抽真(zhēn)空前,參照有限元計算提供的理論數據預設適當的補償量,以使其(qí)在真空(kōng)狀態下(xià)達到平衡。而這樣的真空(kōng)設計也使得現在的真空(kōng)鍍膜機就能夠(gòu)讓鍍膜在真(zhēn)空環境下正常進行,防止外界因素(sù)的影響。
而為了(le)驗證有限元計算(suàn)的結果,對(duì)真空室的形變和(hé)補償進行了(le)測試。首先將(jiāng)四隻千分表定(dìng)位在工作台安裝基點的真空壁外側(cè),當(dāng)真空室由大氣抽到真空時,記錄各千分表的變化量,經歸一化處理後為用激光自準直儀調(diào)整形變補償。由水平調整的自準直儀發出一束激光穿過真(zhēn)空室的玻璃窗照射固定於工作台上的反射鏡,在(zài)大氣環境下調(diào)整形變補償調節(jiē)機構,使反射光束進(jìn)入自準直(zhí)儀接(jiē)收視(shì)場,記錄(lù)兩維角度(dù)偏差。這些數(shù)據之後需(xū)要對其進行分析(xī)處理,得到測試結果。