彩色係膜層和（hé）常規色膜層區別就是C值和H值，所以可（kě）以（yǐ）說，黑色也是彩色係膜層。

鋯＋氮氣：黃綠調金黃色
鋯＋甲烷：深淺（qiǎn）黑色
鋯＋氧氣：白色、透明（míng）膜
鋯＋氮氣＋甲（jiǎ）烷：金色、仿玫瑰金

鉻（gè）＋甲烷：深淺黑（hēi）色
鉻＋氮氣：淺黑色
鉻＋氮氣＋甲烷：銀灰色
鉻＋氧氣：輕（qīng）黃色、紫色、綠色

SUS＋氧氣：紫色
SUS＋氮（dàn）氣：藍色
SUS＋甲烷（wán）：亮黑色
SUS＋甲烷＋氮氣：藍黑色

矽＋氮氣：黑色
矽＋氧氣（qì）：混濁白、透明膜
矽＋甲烷：黃色、綠色、藍色、黑色(靶材純度高於99%僅能調黑色)

鈦＋氧氣（qì）：光學膜七彩截色，不多介紹都懂。
鈦＋甲烷：深淺黑色( DLC製備不能達（dá）標（biāo）)
鈦＋氮氣：仿金色（sè）、黃銅色、紫色、紅（hóng）色
鈦＋氮氣＋甲烷：仿玫瑰金、黑綠色、複古黃、棕色、紫色

鎢＋氮氣：棕黃色
鎢＋甲烷：深淺黑色
鎢＋氧（yǎng）氣：紫（zǐ）色，鮮黃色，棕色，藍色

以上僅裝飾薄膜常用材料（liào）及其常用氣體，通常甲烷和乙炔都可互替（tì），但涉及部分顏色甲烷效果更好。

下一個：磁控濺射過程中（zhōng）常見（jiàn）問題的解決方（fāng）案