CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:68789
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射(shè)工(gōng)作原(yuán)理,所謂(wèi)“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟(hōng)擊物體,從而(ér)引起物體表麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗(yàn)室中就(jiù)發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為(wéi)曲線(xiàn)形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向(xiàng)基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有(yǒu)足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產(chǎn)生電子,電子飛(fēi)向基片,Ar+在電場作用(yòng)下(xià),加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射(shè)。
廣泛應用於家電(diàn)電器、鍾(zhōng)表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼(ké)以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工(gōng)模具的功能塗層,在鍍製超黑(hēi)膜、純金裝飾膜、導電膜等領域(yù)有(yǒu)優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預(yù)定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表(biǎo)麵上獲得厚(hòu)度均勻的膜層(céng);
2)、薄膜與(yǔ)基片的附(fù)著力強。部分高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原(yuán)子(zǐ)與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可(kě)以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜(mó);
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混(hún)入(rù)坩鍋(guō)加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫(wēn)離子(zǐ)輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提(tí)高(gāo)產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組 |
鍍膜係統 | 直流或中頻電源、鍍膜輔助離(lí)子(zǐ)專用電源(yuán) |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備(bèi)參數僅做參(cān)考,具體均按(àn)客戶實際(jì)工藝要求設計訂做 |