SF係列電子(zǐ)束蒸發光學(xué)真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:23185
SF係列電子束蒸發(fā)光學真空鍍(dù)膜機

工作原理

電子束蒸發是將(jiāng)膜材放入水冷銅坩堝(guō)中,直接利用電子束加熱(rè),使膜材中的原子或(huò)分子從表麵汽化逸出後入射到基片(piàn)表麵凝結成膜。電子束蒸發比一(yī)般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜(mó)設備可鍍製層數較(jiào)多的短波通、長波通、增(zēng)透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反(fǎn)膜、彩色反射膜等各種膜係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜(mó),也(yě)能滿足如(rú)汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭(tóu)、冷光杯等產品的鍍(dù)膜要求(qiú)。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金(jīn)屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆(jiē)可(kě)蒸鍍

產(chǎn)品特(tè)點

1)  光學鍍膜配備(bèi)有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過程的自動控製,工作效率和(hé)產品質量重複性一致(zhì)性優良.
2)適(shì)用於光學領域行業,大規模工業生產要求的廠商使用。

技術參(cān)數表

SF係列電子束蒸發光學真(zhēn)空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組(zǔ)KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散(sàn)泵機(jī)組雙KT630擴散泵機組KT500擴散(sàn)泵機組KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴(kuò)散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍(huò)爾離(lí)子源
充氣係統壓強控製儀
控製方式(shì)手動或半自動
膜厚監(jiān)控係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備(bèi)注以上設備(bèi)參數僅做參考,具體(tǐ)均按客戶(hù)實際工藝要求(qiú)設計訂做
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