工作原理
應(yīng)用範圍
產品特點
技術參數表
CJHL係列磁控多弧(hú)真空(kōng)鍍膜機 | |||||||
型號 | CJHL-600 | CJHL-800 | CJHL-1000 | CJHL-1200 | CJHL-1400 | CJHL-1500 | CJHL-1600 |
真空室(shì)尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵(bèng)機組 | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統(tǒng) | 直流電(diàn)源或中頻(pín)電源+多弧鍍膜電源、多功能(néng)孿生磁環弧靶+矩形平麵靶+圓柱磁控多弧兩用靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫(wēn)離(lí)子輔助源(yuán)(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全(quán)自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真(zhēn)空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要(yào)求設計訂做 |