工作原理
WJZ係(xì)列無介質(zhì)獨立膜(mó)電阻蒸發真空鍍膜(mó)機的原理是在真空室中將金屬材料(鋁、鎳、錫等)利用電阻蒸發技術將材料汽化,汽化後的金屬分(fèn)子產生飛逸沉積於基材的表麵上形成鋁、錫(xī)等純金(jīn)屬薄膜層,出爐後(hòu)將膜層從特別的基材表麵可輕輕剝落,形成無(wú)介質獨立性的(de)厚度為2-3μm,具有一定彈性、能夠隔離氣體和光線的薄膜。
應用(yòng)範圍
產品特點(diǎn)
技術參數表
WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸發真空鍍膜機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴散泵機組(zǔ) | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電阻蒸發源+圓柱磁控多弧(可(kě)選配) | ||||||
鍍膜輔助係統 | 低溫離子鍍膜電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製(zhì)方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上(shàng)設備參數僅(jǐn)做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |