CJ係列磁控濺射真空鍍膜(mó)機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:68785

CJ係列磁(cí)控濺射真空鍍膜(mó)機

工作原理(lǐ)

CJ係列磁(cí)控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺(jiàn)射”就(jiù)是用荷能(néng)粒子(通(tōng)常(cháng)用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中(zhōng)逸出(chū)的現象。早在1842年Grove在實(shí)驗室中(zhōng)就發現了這種(zhǒng)現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場(chǎng)為曲線形,均勻電場和對(duì)數電場則分別用於平麵(miàn)靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用(yòng)下,加速(sù)飛向基片的過(guò)程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出(chū)Ar+並產生電子,電子飛向(xiàng)基片,Ar+在電(diàn)場作用下,加(jiā)速飛向(xiàng)陰極(濺(jiàn)射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。 

應用範圍

廣泛應用於家電電器、鍾表、高(gāo)爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在(zài)鍍製(zhì)超黑(hēi)膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的(de)鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較(jiào)大(dà)的表麵上獲得厚度均勻的膜(mó)層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺(jiàn)射原子產生不同程度的注入現(xiàn)象,在基片上形成(chéng)一層濺射原子與基片原(yuán)子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備(bèi)特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同(tóng)時濺(jiàn)射製備混合膜(mó)、化合膜(mó),還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜(mó)層純度高,濺射膜層中(zhōng)不會混入坩鍋加熱器材(cái)料的(de)成(chéng)份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜(mó),節能省電,提高產(chǎn)能。

技(jì)術參數表

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機(jī)     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散泵機(jī)組KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴(kuò)散(sàn)泵機組
鍍膜係統直流或(huò)中頻電源、鍍膜(mó)輔助離子專用電源
充氣(qì)係統質(zhì)量流量計質量流量計質量流量(liàng)計質量流量計質(zhì)量流量計質量流量計質量流量計
控製方式手動或全自(zì)動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或(huò)全自動手動或全自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做(zuò)
友情鏈接: 三菱伺服電機  鐵件鍍錫  粉塵檢測儀(yí)  鋼筋桁架樓承板  環氧自流平(píng)施(shī)工  紅木(mù)家具  法蘭盤  水(shuǐ)穩攪(jiǎo)拌站  端子截麵分(fèn)析(xī)儀  鈹銅板 
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