CJ係列磁控濺射真空鍍膜(mó)機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:68785
CJ係列磁(cí)控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺(jiàn)射”就(jiù)是用荷能(néng)粒子(通(tōng)常(cháng)用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中(zhōng)逸出(chū)的現象。早在1842年Grove在實(shí)驗室中(zhōng)就發現了這種(zhǒng)現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場(chǎng)為曲線形,均勻電場和對(duì)數電場則分別用於平麵(miàn)靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用(yòng)下,加速(sù)飛向基片的過(guò)程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出(chū)Ar+並產生電子,電子飛向(xiàng)基片,Ar+在電(diàn)場作用下,加(jiā)速飛向(xiàng)陰極(濺(jiàn)射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高(gāo)爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在(zài)鍍製(zhì)超黑(hēi)膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的(de)鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較(jiào)大(dà)的表麵上獲得厚度均勻的膜(mó)層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺(jiàn)射原子產生不同程度的注入現(xiàn)象,在基片上形成(chéng)一層濺射原子與基片原(yuán)子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備(bèi)特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同(tóng)時濺(jiàn)射製備混合膜(mó)、化合膜(mó),還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜(mó)層純度高,濺射膜層中(zhōng)不會混入坩鍋加熱器材(cái)料的(de)成(chéng)份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜(mó),節能省電,提高產(chǎn)能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機(jī) | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機(jī)組 | KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴(kuò)散(sàn)泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或(huò)中頻電源、鍍膜(mó)輔助離子專用電源 |
充氣(qì)係統 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做(zuò) |