超大型板材管材真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:16:58 人氣:23217
超大型板材管材真空鍍膜機

工作原理

離(lí)子鍍是真空(kōng)室中,利用氣體放電或(huò)被蒸發物(wù)質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的(de)同時,將蒸發物(wù)或反應物沉(chén)積在基片上。離子鍍把輝(huī)光放電現象、等離子體技術和真空(kōng)蒸發三(sān)者有機結合起來,不僅能明顯地改進(jìn)了膜質量(liàng),而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用範圍。其優點是薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣(guǎng)泛等。多弧離子鍍(dù)與一般(bān)的離子鍍有著很大(dà)的區別。多弧(hú)離子(zǐ)鍍采用的是弧光放電,而並不(bú)是傳統離子鍍的輝(huī)光放電進行沉積。簡單的說,多弧離子鍍的原理就是把陰極靶作為(wéi)蒸發源,通過靶與陽極殼體之間的弧光(guāng)放電,使靶(bǎ)材蒸發,從而在(zài)空間中形成等離子體,對(duì)基(jī)體進行沉積。

應用範圍

可以鍍製不鏽鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬(shǔ)膜,也可鍍製合金膜或化合物,如TiN\TiAlN\CrN膜等,臥式多弧(hú)離子鍍膜機主要針對(duì)大麵積五金工件鍍(dù)裝飾膜或(huò)者功能膜,適合於在(zài)不鏽鋼板、不鏽鋼管、不鏽鋼(gāng)門等工件表(biǎo)麵鍍膜。

產品特點

1)、此類設(shè)備真空室最大尺寸能實(shí)現 φ5000X10000MM(長)
2)、是在大型板材、管材上鍍製各類裝飾膜層及(jí)功能膜膜層的適合設備。

技術參數表

HLB係列大(dà)型板材管材真空鍍膜機     
型號HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空(kōng)室尺寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空機組雙KT800擴散泵機(jī)組雙(shuāng)KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴(kuò)散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組*4套
鍍膜係統專用多弧鍍膜電源+多功能孿生(shēng)磁環弧靶+柱形(xíng)弧靶(可選配)
輔助鍍膜係統低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統)
充氣係統質量流量計
控製方式手動或全自動
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備(bèi)注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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